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产品描述
SPS 精密烤盘 HL200S
我们的台式电炉提供了可升级的选项,例如起重销,真空 烘烤,接近销和铰链盖,这使其成为用于研发和中试生产线的多功能且价格合理的工具。 精密的数字温度控制器可
实现1°C至230°C的可调温度步进。 它适用于软烘烤以及 硬烘烤过程,以及光致抗蚀剂,环氧树脂或任何其他需要精确温度控制的工作的固化。
主要特点:
1、诊断串行接口(RS232)
2、精密温度控制系统
3、带有声音警报的倒数计时器(1-999秒) CE认证
4、低温梯度加热单元(安全升高温度)
5、操作环境 :该系统设计用于10°C-40°C的环境 温度
规格参数:
1、温度范围为50-230°C(以1°C为步长可调)
2、可编程存储10个程序(温度/时间)
3、温度均匀度±0.5°C
4、加热器表面积220 x 220毫米
5、适用于1 x 8”晶圆
6、加热块材料:铝(阳极氧化)或PTFE涂层
7、电压: 110 或 240 VAC/ 50/60 Hz
8、** 当前: 2,5 / 5A
9、功耗(**值):550 Watt
10、重量:12 KG
11、尺寸装置:450 x 320 x 135 mm
12、带铰链盖的尺寸:450 x 320 x 200 mm